超精密單點金剛石車床，配合B軸，實現(xiàn)360°分度功能
加工軟件 超精密數(shù)控車床加工軟件[簡稱：SPDT2DTools]
編程分辨率 直線運動0.1nm，回轉(zhuǎn)運動0.000001°
性能指標(biāo) 表面粗糙度Ra<5nm，面形精度PV<0.3μm
線性軸 X軸（垂直于主軸） Z軸（沿主軸）
類型 液體靜壓導(dǎo)軌、全閉環(huán)控制 液體靜壓導(dǎo)軌、全閉環(huán)控制
最大行程： 200mm 200mm
驅(qū)動方式 直線電機 直線電機
光柵分辨率 31.25pm 31.25pm
直線度： 0.1μm/100mm 0.1μm/100mm
最大進給速度： 20mm/s 20mm/s
旋轉(zhuǎn)軸 主軸（工件軸） B軸（選配）
轉(zhuǎn)速:0-6000rpm 分度角度：0-360°
旋轉(zhuǎn)精度≤20nm 定位精度±5”，臺面直徑D140mm
注：因產(chǎn)品和技術(shù)的持續(xù)發(fā)展，上述指標(biāo)會有所調(diào)整，具體參數(shù)請聯(lián)系公司索取
