加工軟件 超精密數(shù)控車(chē)床加工軟件[簡(jiǎn)稱(chēng):SPDT2DTools]
編程分辨率 直線運(yùn)動(dòng)0.1nm,回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)0.0000001°
性能指標(biāo) 表面粗糙度Ra<5nm,面形精度PV<0.3μm
線性軸 X軸(垂直于主軸) Z軸(沿主軸)
類(lèi)型 液體靜壓導(dǎo)軌、全閉環(huán)控制 液體靜壓導(dǎo)軌、全閉環(huán)控制
最大行程: 200mm 200mm
驅(qū)動(dòng)方式 直線電機(jī) 直線電機(jī)
光柵分辨率 31.25pm 31.25pm
直線度: 0.1μm/100mm 0.1μm/100mm
最大進(jìn)給速度: 20mm/s 20mm/s
旋轉(zhuǎn)軸 主軸(工件軸) B軸(選配)
轉(zhuǎn)速:0-6000rpm 分度角度:0-360°
旋轉(zhuǎn)精度≤20nm 定位精度±5”,臺(tái)面直徑D140mm
注:因產(chǎn)品和技術(shù)的持續(xù)發(fā)展,上述指標(biāo)會(huì)有所調(diào)整,具體參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系公司索取