可加工工件口徑250mm,表面粗糙度Ra<2nm,面形精度PV<0 2μm。可加工平面、球面、錐面、非球面、離軸面、自由曲面、衍射面、模仁D-CUT等
可加工工件口徑250mm,表面粗糙度Ra<2nm,面形精度PV<0.2μm。
可加工平面、球面、錐面、非球面、離軸面、自由曲面、衍射面、模仁D-CUT等。
可選配B軸,實(shí)現(xiàn)360°分度功能,用于加工多棱反射鏡。
可加工材料包括銅、鋁、單晶鍺、硒化鋅、單晶硅、硫系玻璃、氟化物、樹(shù)脂、人工晶狀體、PMMA等。
超精密氣體靜壓主軸,標(biāo)配C軸功能
主軸采用內(nèi)裝式電機(jī)+高精度編碼器
X/Z軸均采用液體靜壓導(dǎo)軌,直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),全閉環(huán)控制
PMAC可編程控制器
真空度可切換吸盤(pán)
精密微調(diào)刀架
在線動(dòng)平衡調(diào)整系統(tǒng)
自水平氣浮隔振系統(tǒng)
壓縮空氣處理系統(tǒng)
恒壓伺服液壓系統(tǒng)
基礎(chǔ)配置 |
超精密氣體靜壓主軸,超精密液體靜壓導(dǎo)軌,“T”型布局 |
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振動(dòng)隔離 |
自調(diào)節(jié)氣浮墊鐵 |
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控制系統(tǒng) |
PMAC可編程控制器 |
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加工軟件 |
超精密數(shù)控車(chē)床加工軟件[簡(jiǎn)稱:SPDT2DTools] |
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編程分辨率 |
直線運(yùn)動(dòng)0.1nm,回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)0.000001° |
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性能指標(biāo) |
表面粗糙度Ra<3nm,面形精度PV<0.2μm |
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線性軸 |
X軸(垂直于主軸) |
Z軸(沿主軸) |
快刀 |
類(lèi)型 |
液體靜壓導(dǎo)軌、全閉環(huán)控制 |
液體靜壓導(dǎo)軌、全閉環(huán)控制 |
行程:±1mm |
最大行程: |
350mm |
150mm |
最大加工速度:30G |
驅(qū)動(dòng)方式 |
直線電機(jī) |
直線電機(jī) |
最高工作頻率:400Hz |
光柵分辨率 |
31.25pm |
31.25pm |
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直線度: |
0.1μm/50mm |
0.1μm/50mm |
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最大進(jìn)給速度: |
20mm/s |
20mm/s |
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旋轉(zhuǎn)軸 |
主軸(工件軸) |
C軸 |
磨頭 |
轉(zhuǎn)速 |
0-10000rpm |
0-1000rpm |
氣動(dòng)磨頭 |
旋轉(zhuǎn)精度 |
≤20nm |
轉(zhuǎn)角定位精度5”,重復(fù)定位精度2” |
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基礎(chǔ)條件 |
壓縮空氣要求 |
供電要求 |
占地空間 |
溫度控制:22±1℃ |
供氣壓力:0.6MPa |
380V,三相五線制,50Hz 額定功率: 8Kw |
長(zhǎng)寬高:2100*1200*1900mm 重量:2T |